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Manual Valve
Manual Valve 반도체 제조 공정중 Main Chamber 와 Vacuum Pump에 연결되어 Fore Line 에 장착되어 Chamber 또는 Pump 어느 쪽에 이상이 발생되면 신속히 Fore Line을 차단하여 각 설비의 오작동 방지 및 교체 수리 시 공정 중 필수 요인이 진공을 유지하기 위한 저가형 수동 안전장치
SPECIFICATION
Item Protection
He leak Rate Sealing : < × 10 -8 Torr Liter/sec
Pressure Range 1 × 10 - 9 Torr to 1.6 bar
Differential Press at Operating ≤ 20 mbar
Lift time [Cycles] 100,000
Body Temperature ≤ 200℃
Valve Position Indicating Visual [Mechanical Indicator]
Actuator Manual Hand Wheel
 
ISO 9001:2000 벤처기업/Inno-biz