HOME  > 제품소개  > VALVE
Auto(Pneumatic) Valve
Auto(Pneumatic) Valve 반도체 제조 공정중 Main Chamber 와 Vacuum Pump 에 연결되어 Fore Line 에 장착되어 Chamber 또는 Pump 어느 쪽에 이상이 발생되면 신속히 Fore Line을 차단하여 각 설비의 오작동 방지 및 교체 수리시 공정 중 필수 요인인 진공을 유지하기 위한 Auto 안전장치
SPECIFICATION
Item Protection
He leak Rate Sealing : < × 10 -8 Torr Liter/sec
Pressure Range 1 × 10 - 9 Torr to 1.6 bar
Operating Temp ≤ 200℃
Materials Body SUS 304 [EP & Glass Sanding]
Mechanism SUS 304 [EP]
Gate sealing O-ring [Viton]
Response Time Open-Close : 0.3 ~ 0.5sec
Weight MK100:13㎏ , MF125:10㎏ , M 0:24㎏
Position Indicating ED Display by Magnet Sensor
 
ISO 9001:2000 벤처기업/Inno-biz