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Metal / Imp / CVD
  • 열전소자 사용에 따른 친환경 및 무소음 (Non Gas)
  • ±0.1℃ 제어로 공정 Process 개선
  • Inverter 제어를 통한 정밀 유량 제어
  • 인증 Parts 사용에 따른 신뢰성 및 내구성 증대
  • 외산 및 냉동 칠러 대체 효과 (에너지 절감)
SPECIFICATION
Process Metal용 Implant용 CVD용
이미지 Metal용 Implant용 CVD용
Chiller Model LC-90EXC-DI LC-20EC-IMP LC-40EC
Operating Range +5 ~ +80℃ +5 ~ +60℃ -10˚C ~ 60℃
Temp. Control Accuracy ±0.1℃ ±0.5℃ ±0.1℃
Cooling Capacity 9000W @20℃ 2000W @20℃ 4000W @20℃
Reservoir Tank 20Liter 8.5Liter 5Liter
Flow Rate 30LPM @4㎏/㎠ 15LPM @4㎏/㎠ 20 LPM @0.5Mpa
Process Fluid D.i WATER D.i WATER FC-3283
Interface RS-232 DI/O User Specification
Footprint W600×D900×H1300 W600×D900×H1300 W635×D635×H254
Electrical 208-220V ,75A, 3PH 208-220V ,20A, 3PH 200-220V , 20A , 3PH
PCW 30±1.5LPM @18℃ 15±1LPM @18℃ 20±0.3℃, 15LPM(0.3Mpa)이상
Weight 250㎏ 200㎏ 50㎏
 
ISO 9001:2000 벤처기업/Inno-biz